? 產(chǎn)品介紹
玖恩智能二氧化碳EGS32系列純化器采用裝填有定制物料的吸附桶在純化和再生兩個(gè)模式之間交替工作，實(shí)現(xiàn)24H不間斷供氣，具備完善的報(bào)警、聯(lián)鎖、數(shù)據(jù)記錄功能，可實(shí)現(xiàn)無(wú)人看守自動(dòng)運(yùn)行，可自動(dòng)切換再生，再生是通過(guò)高純的惰性氣體與少量氫氣混合進(jìn)行加熱吹掃，純化模式時(shí)吸附桶是在常溫下進(jìn)行工作，再生時(shí)的工作溫度在 280-300℃之間。
? 產(chǎn)品特點(diǎn)
?流量范圍10-700Nm3/h | ?可配置0.003微米過(guò)濾器 |
?出口氣體中各雜質(zhì)含量小于1ppb | ?全自動(dòng)再生、連續(xù)供氣 |
?使用壽命長(zhǎng)達(dá)20年以上 | ?316L SS EP純化罐 |
?根據(jù)客戶需求定制各項(xiàng)參數(shù) |
? 純化能力
適 用 氣 體 | CO? |
型 號(hào) | EGS32 |
工 藝 | ADS |
雜質(zhì) | OUTLET |
ppb | |
H?O | <1 |
O? | <1 |
Co | <1 |
H? | <1 |
Total Volatile Acids(as SO2) | <0.005 |
Total Volatile Bases(as NH3) | <0.5 |
Condensable Organics(HCS>100 amu,as Decane) | <0.15 |
Non-Condensable Organics(HCS>58 amu,as Toluene) | <1 |
Refractonies(as HMDSO) | <0.005 |
PARTICLES | ≤1pcs/m3(@0.003μm) |
流量范圍 | 10-700Nm3h |
? CO?入口品質(zhì)要求等于或優(yōu)于GB_T10621-2006食品級(jí)液體CO?
? 備注：表格中僅列出標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)的指標(biāo)和配置，更多特殊要求請(qǐng)與工廠聯(lián)系
? 產(chǎn)品選型
流量范圍Nm3/h | 工藝氣體 | 產(chǎn)品工藝 | 壓力范圍Bar | 參考尺寸mm |
1-10 | CO? | 2 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 850*900*2000 |
60-300 | CO? | 2 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 1350*1150*2100 |
400-700 | CO? | 2 x ADS 自動(dòng)再生 | 3.5-10 | 1800*1700*2450 |
? 應(yīng)用領(lǐng)域
?大規(guī)模集成電路制造 | ?光纖預(yù)制棒生產(chǎn) |
?半導(dǎo)體分立器件制造 | ?眾多半導(dǎo)體工藝設(shè)備配套 |
?大尺寸硅片、襯底、外延片生產(chǎn) | ?超高純氣體、混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn) |
?LED、激光器制造 | ?吹掃氣體、載氣及零點(diǎn)氣體純化 |
?平板顯示器生產(chǎn) | ?大學(xué)和研究所等科研機(jī)構(gòu)產(chǎn)品研發(fā) |
?高效太陽(yáng)能電池生產(chǎn) | ?醫(yī)藥及食品行業(yè) |
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